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              鍍膜機操作步驟
              發布時間:2021-04-07 10:55:43      點擊次數:124

              1、打開冷卻水開關、空壓機開關(空壓機紅色按鈕向上拔為打開,向下按為關閉)和鍍膜機總電源開關。

              2、將玻璃基板至于樣品托中,導電一面向下,刻蝕帶一側靠近樣品托藍色線條一側。  

              3、預處理室放氣,待放好氣后擰緊放氣閥,打開預處理室倉門,將樣品托放在推拉桿上,關閉倉門。 

              4、打開機械A、機械B泵及四個真空計。  

              5、基片預處理:打開角閥,當預處理室真空度達到2.0E1 ~5.0E1 (2.0×10~5.0×10)Pa時,關閉角閥、打開真空蒸鍍室角閥。打開直流濺射電源、再按下啟動按鈕,調節電流0.020-0.025*,轟擊10分鐘,將電流調節至0A,按下停止按鈕,關閉電源。  

              6、打開A泵,角閥,待度達4.0E0以下時,即當兩邊真空氣壓基本相當的的時候(約十分鐘),關閉角閥,A閥,打開蒸鍍室與預處理室之間的閘板閥(順時針方向開,逆時針方向關),檢查旋轉臺下的擋板,一定要將擋板放在恰當位置。樣品傳送至蒸鍍室,用機械手抓取樣品托,并保持在機械手上;然后將推拉桿拉回至預處理中,關閉閘板閥;降低蒸鍍臺與機械手平齊,將樣品托輕輕推入蒸鍍臺下方的樣品托導引槽(上方導引槽)。 

               7、當蒸鍍室真空度達到1.2E1(1.2×10) Pa以下時,關閉角閥、機械A泵。打開閘板閥,將蒸鍍室抽高真空至7.0E-4Pa(約2個小時)。

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